중국, 반도체 자립 한발 더?…“DUV 노광장비 생산해 납품 예정”

본문국제중국중국, 반도체 자립 한발 더?…“DUV 노광장비 생산해 납품 예정”이정연기자수정 2026-07-28 14:10펼침0:00Your browser does not support theaudio element.구글 선호 매체 등록세계적인 반도체 장비 업체인 네덜란드의 에이에스엠엘(ASML) 직원들이 반도체 제조에 쓰이는 노광장비를 조립하고 있다.

로이터 연합뉴스광고중국이 반도체 생산에 쓰이는 핵심 장비인 액침식 심자외선(DUV) 노광장비를 자체 개발해 생산에 들어간 것으로 알려졌다. 미국이 첨단 노광장비의 중국 수출을 제한하는 가운데 중국이 반도체 생산 자립에 한발 더 다가섰다는 평가가 나온다.27일(현지시각) 로이터 통신은 미국 기술매체 디인포메이션을 인용해 중국산 액침식 심자외선 노광장비가 올해 안에 중신궈지(SMIC), 화훙반도체, 창신메모리(CXMT) 등에 납품될 예정이라고 보도했다.

장비를 생산하는 곳은 중국 정부의 지원을 받는 업체로 전해졌으나 구체적인 이름은 공개되지 않았다. 액침식 심자외선 노광장비는 빛을 이용해 실리콘 웨이퍼 위에 미세한 회로 패턴을 새기는 반도체 생산 장비다.초기 생산량은 많지 않을 전망이다.

중국은 올해 약 5대를 생산하고, 2027년에는 연간 생산량을 약 20대로 늘릴 것으로 예상됐다. 중국산 장비는 성능과 신뢰성 면에서 세계 최대 노광장비 업체인 네덜란드 에이에스엠엘(ASML) 제품과 여전히 격차가 있는 것으로 전해졌다. 반도체 양산 공정에 투입되기 전 추가 시험과 조정도 필요한 상황이다.

이에 따라 중국산 장비가 안정적으로 양산될 경우 미국의 수출 통제에 따른 장비 공백을 일부 메울 수 있지만, 당분간은 선도업체들의 기술적 우위가 이어질 것으로 보인다.광고아직 중국은 첨단 공정에 사용되는 극자외선(EUV) 노광장비를 확보하지 못하고 있다. 이 때문에 액침식 심자외선 장비가 중국 반도체 업체들이 사용할 수 있는 가장 첨단 수준의 노광장비로 꼽힌다.

네덜란드 정부는 첨단 반도체 생산에 쓰이는 극자외선 노광장비에 대해서는 2019년부터 대중국 수출을 통제해 왔다. 그러다 2024년 9월부터는 심자외선 장비까지 정부의 허가 없이는 수출할 수 없도록 했다. 이는 미국의 대중국 수출 통제의 확대 압박에 호응한 결과였다.

다만 구형·저사양 심자외선 노광장비까지 모두 금지된 것은 아니다.광고광고심자외선 노광장비 생산 기업에 대한 관심도 커지고 있지만, 정확한 기업 이름 등은 알려지지 않았다. 외신 등은 상하이 기반의 ‘위량성’이라는 기업일 가능성이 있다고 추정했다.

영국 파이낸셜타임스는 지난해 9월 중신궈지가 시험 중인 국산 액침식 심자외선 장비가 상하이 기업 위량성 제품이라고 보도한 바 있다. 위량성은 선전시 지방정부가 지분을 갖고 있는 반도체 장비업체 ‘신카이라이’와 연계된 것으로 알려졌다.베이징/이정연 특파원xingxing@hani.

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